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中國半導體製造設備與晶圓產線示意圖
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2025年中國半導體設備自給率突破35%:大幅超越預定目標

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2025年底中國半導體設備自給率升至35%,超越30%的預期目標。北方華創、中微公司等本土廠商在28奈米甚至5奈米製程取得顯著進展,訂單已排至2027年。

自給自足步伐勢如破竹。中國在半導體製造設備的國產化進程中取得重大進展,截至2025年底,國產設備市佔率已攀升至35%,不僅遠高於2024年25%,更突破了政府設定的30%年度目標。

關鍵領域突破:中國半導體設備自給率2025年表現

根據《界面新聞》報導,中國半導體產業正加速由依賴Applied MaterialsLam Research等美國龍頭轉向本土供應商。在蝕刻與薄膜沉積等核心環節,國產設備採用率已超過40%。其中,北方華創(Naura)與中微公司(AMEC)表現尤為突出。

  • 中微公司開發的5奈米級蝕刻機已進入台積電(TSMC)先進製程產線驗證。
  • 北方華創的氧化與擴散爐在中芯國際(SMIC)的28奈米產線中,佔比已突破60%
  • 拓荊科技(Piotech)在長江存儲(YMTC)的3D NAND產線中,其PECVD設備市佔率從15%倍增至30%

市場前景與訂單能見度

中國預計到2027年都將維持全球最大半導體設備市場的地位。北方華創目前的訂單積壓量已延伸至2027年第一季,顯示下游晶圓廠對國產設備的需求極為強勁,供應鏈本土化已成定局。

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